Inloggen

Lithografie
havo 2022, 1e tijdvak, opgave 3


Download hierboven de originele pdf van het examen waar deze opgave in staat en de bijbehorende uitwerkbijlage. "Lithografie" is de 3e opgave in dit examen. Als je de opgave gemaakt hebt kun je jezelf nakijken met het correctievoorschrift.

Uitleg bij "Lithografie"

Probeer altijd eerst zelf de opgave te maken en gebruik de uitleg alleen als je er zelf niet uitkomt. Als je ook na deze uitleg nog vragen hebt dan kun je deze helemaal onderaan deze pagina stellen.

Vraag 13

193 nm is 1,93·10-8 m. In Binas tabel 19A vindt je een overzicht van het elektromagnetisch spectrum. Hierin is te vinden dat golflengtes in de orde van grootte van 10-8 m horen bij het ver ultraviolet (UV). Juist is dus antwoord C.

Vraag 14

De begintemperatuur van het tin is 7·102 K. Dit ligt ver boven het smeltpunt van tin (505 K volgens Binas tabel 8) dus het tin is in het begin vloeibaar. Het tin gaat, nadat het door de laserpulsen is getroffen, over van de vloeibare fase naar de gasfase. Deze faseovergang heet verdampen.

Vraag 15

Per puls draagt de laser 1,5·10-4 J aan energie over. Om op een totale energie van 2,5 J te komen zijn dus 2,5 / 1,5·10-4 = 16667 pulsen nodig. In figuur 4 kun je aflezen dat een complete puls 8,0 μs duurt. Voor de tijd nodig voor 16667 pulsen vinden we dan

t = 16667 · 8,0·10-6 = 0,1333 s

Afgerond is er dus 0,13 s nodig om het tin in de gasfase te krijgen.

Vraag 16

Uit de gegeven fotonenergie kunnen we met Ef = h·c/λ de bijbehorende golflengte uitrekenen. Omschrijven geeft

λ = h·c / Ef

De constante van Planck (h) en de lichtsnelheid (c) vinden we beide in Binas tabel 7. Invullen geeft

λ = 6,626·10-34 · 2,9979·108 / 1,47·10-17

λ = 1,3513·10-8 m

Dit is gelijk aan 13,513 nm. Dit is een factor 193 / 13,513 = 14,28 kleiner dan de oorspronkelijk golflengte. Omdat de minimale breedte die gemaakt kan worden evenredig is met de gebruikte golflengte zal ook de minimale breedte een factor 14,82 kleiner worden. In plaats van 25 nm wordt dit

25 nm / 14,28 = 1,751 nm

Afgerond is dit een minimale breedte van 1,8 nm.

Vraag over "Lithografie"?


    Hou mijn naam verborgen

Eerder gestelde vragen | Lithografie

Over "Lithografie" zijn nog geen vragen gesteld.